磁控溅射和原子力显微镜（AFM）是制备与表征薄膜材料的常见物理方法，也向来是大学物理实验教学中的重点和难点。然而这一类的实验往往由于设备高端，材料昂贵，实验过程具有一定危险性，不适合大面积开展实验教学。

氢化纳米硅薄膜具有优于固体材料本身的优越性能，在新材料领域中占有非常重要的地位，但制备过程具有一定的危险性。本项目利用三维虚拟仿真技术高度还原实验场景，100%仿真模拟磁控溅射设备制备氢化纳米硅薄膜以及利用原子力显微镜(AFM)表征薄膜表面形貌的实验过程。本项目适合大面积开展磁控溅射镀膜和原子力显微镜表征的实验教学，通过此虚拟仿真实验项目可以提高学生对薄膜领域的应用性认识，有利于学生尽早熟悉和进入科研阶段。